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J-GLOBAL ID：200903067466335048

純粋な同位体から成るCVDダイヤモンド

Inventor： トーマス・リチャード・アントニー ,  ブラッドリー・アール・ウイリアムズ
Applicant, Patent owner： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
Agent (1)： 生沼 徳二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995087296
Publication number (International publication number)：1996048596
Application date： Apr. 13, 1995
Publication date： Feb. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】少なくとも100ミクロンの厚さ及び約20W/cm・Kより高い熱伝導率を有する光学的に透明なCVDダイヤモンドフィルムの製造方法。【構成】本発明の製造方法は約50ミクロンより大きい厚さを有するダイヤモンドフィルムを蒸着するのに十分な時間にわたり、水素及び特定の同位体について濃縮された炭素源を含有する混合ガスを基体に沿って流すことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

少なくとも50ミクロンの厚さ及び約20W/cm・Kより高い熱伝導率を有する光学的に透明なCVDフィルムの製造方法において、約50ミクロンより大きい厚さを有するダイヤモンドフィルムを蒸着するのに十分な時間にわたり、水素、特定の同位体について濃縮された炭素源、及びその他の化学種から成る混合ガスを基体に沿って流し、前記フィルムの厚さが少なくとも50ミクロンになるまで続けた後、前記フィルムを前記基体から分離することからなる方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  H01L 21/205