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J-GLOBAL ID：200903067477053915
エッチング終点判定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992249584
Publication number (International publication number)：1994101074
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： Apr. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】本発明の目的は、処理室採光部の透明度低下を防ぎ安定した終点検出を行うエッチング終点判定装置を提供することにある。【構成】放電管5を加熱することにより反応生成物が放電管5に付着しにくくすれば、エッチング処理枚数を重ねても放電管5の透明度低下を防ぐことができる。【効果】上記により、光路9に導入される光量が多くなり増幅率設定器11における増幅率を必要以上に大きくしないですむため、光電変換器10の出力におけるノイズ成分の影響を受けることなく終点判定処理を正常に行うことができる。
Claim (excerpt)：
エッチング処理時、処理室内の発光状態を検出する手段と、該手段にて検出した光量を電気信号に変換する手段と、該変換手段からの出力信号に対して平滑化、微分等の情報処理を行う手段とからなるエッチング終点判定装置において、前記処理室の採光部を加熱する手段を設けたことを特徴とするエッチング終点判定装置。
IPC (2)：
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