立体形状評価装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：吉田稔 , 田中達也 , 福元義和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003058686
Publication number (International publication number)：2004271221
Application date： Mar. 05, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：

【課題】試料が複雑な立体形状を有する場合にも非破壊かつ迅速に形状評価が可能な立体形状評価装置を提供する。【解決手段】立体形状評価装置はX線CTスキャナ装置で取得した複数の断面画像から試料の立体形状を示すデータを作成し、このデータとCAD等で作成した試料の立体形状を示すデータとを比較することにより試料の評価を行う。このデータ比較では基準面Pの断面画像を用いて各断面の設計画像に対する実測画像の画像ずれが算出され、実測データはこの算出結果を用いて画像ずれが補正される。X線CTスキャナ装置の回転テーブル211の内部に平面視形状が直角三角形の基準片Qを埋設し、この基準片Qの断面画像を基準面の断面画像とすることにより基準面Sを有しない複雑な立体形状の試料Pに対しても画像ずれの補正を可能にし、形状評価を好適に行えるようにした。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

所定の断面形状を有する基準部材が特定の位置関係で配置された試料の、上記基準部材の所定の断面を基準面とした当該基準面と平行な複数の面で切断した際の各面の断面形状のデータと、各面の断面形状に予め設定された複数の評価点に関するデータとからなる上記試料の三次元設計データが記憶された記憶手段と、上記三次元設計データに含まれる複数の断面画像に対応する断面で、上記基準部材が上記特定の位置関係で配置された上記試料にX線を照射して断層像を取得し、その断層像から当該試料の各面における断面形状と当該基準部材の断面形状とからなる上記試料の三次元実測データを生成する三次元実測データ生成手段と、上記三次元実測データ生成手段で生成された上記基準部材の上記基準面における断面形状と上記三次元設計データにおける上記基準部材の上記基準面における断面形状とに基づいて、上記三次元実測データの各断面形状の上記三次元設計データの対応する断面形状に対する画像のずれを補正する補正データを演算する演算手段と、各断面毎に、上記演算手段で算出された補正データに基づいて上記三次元実測データの各断面形状の、上記三次元設計データの対応する断面形状に対する画像のずれを補正する補正手段と、各断面毎に、画像のずれが補正された上記三次元実測データの断面形状について、上記三次元設計データの対応する断面形状に設定された評価点に対応する点を抽出する評価点抽出手段と、各断面毎に、当該断面の設定された複数の評価点について、上記三次元設計データの断面形状と上記補正手段で補正された上記三次元実測データの断面形状とを比較し、その比較結果に基づいて上記試料の良否を評価する評価手段と、を備えたことを特徴とする立体形状評価装置。

IPC (3)：

G01B15/00 , G06T1/00 , G06T7/60

FI (4)：

G01B15/00 A , G06T1/00 300 , G06T1/00 315 , G06T7/60 150S

F-Term (34)：

2F067AA04 , 2F067AA52 , 2F067AA53 , 2F067AA62 , 2F067GG01 , 2F067GG08 , 2F067HH04 , 2F067HH12 , 2F067JJ03 , 2F067KK06 , 2F067NN04 , 2F067RR00 , 2F067RR33 , 2F067RR36 , 5B057AA01 , 5B057BA03 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB13 , 5B057CB16 , 5B057CD11 , 5B057DA03 , 5B057DA07 , 5B057DB03 , 5B057DC09 , 5B057DC16 , 5B057DC33 , 5L096AA09 , 5L096BA03 , 5L096EA14 , 5L096FA06 , 5L096FA69 , 5L096GA08 , 5L096HA07

Return to Previous Page