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J-GLOBAL ID：200903067546080652

固体潤滑性を有する複合耐磨耗性硬質皮膜、並びに皮膜付き物品

Inventor： 木道 雄太郎 ,  川名 淳雄
Applicant, Patent owner： 日本コーティングセンター株式会社
Agent (1)： 田中 増顕
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998185687
Publication number (International publication number)：2000001768
Application date： Jun. 16, 1998
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：

【要約】【目的】 優れた摺動特性と耐磨耗性を兼備した複合皮膜、並びに皮膜付き物品の実用化を目的とし、固体潤滑皮膜と硬質セラミック皮膜の密着性と最外固体潤滑皮膜の耐候性の向上を行うものである。【構成】 周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素及びAl、Si、B、Cから選択される一種以上の元素と、B、C、N、Oから選択される一種以上の元素とによって構成される単層または2種以上の積層化合物皮膜である高硬度皮膜の下地層と、下地層上に、スパッタリング法により製膜される二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物を表面層に備える。表面層である二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物には、下地層との密着性と耐候性を向上させる目的で周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素から選択される一種以上の元素を合計0.5at%以上、10at%以下の範囲で含む。

Claim (excerpt)：

周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素及びAl、Si、B、Cから選択される一種以上の元素と、B、C、N、Oから選択される一種以上の元素とによって構成される単層または2種以上の積層化合物皮膜である高硬度皮膜の下地層と、下地層上に、スパッタリング法により製膜される二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物を表面層に備え、表面層である二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物には、周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素から選択される一種以上の元素を合計0.5at%以上、10at%以下の範囲で含むことを特徴とする固体潤滑性を有する複合耐磨耗性硬質皮膜。

IPC (2)：

C23C 14/06 ,  B32B 9/00

FI (2)：

C23C 14/06 P ,  B32B 9/00 A

F-Term (37)：

4F100AA09C ,  4F100AA12B ,  4F100AA40B ,  4F100AA40K ,  4F100AB12C ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100BA13 ,  4F100EH66C ,  4F100GB51 ,  4F100JK09 ,  4F100JK12B ,  4F100JK16 ,  4F100YY00C ,  4K029BA33 ,  4K029BA34 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BA51 ,  4K029BA53 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA56 ,  4K029BA57 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BC00 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05