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J-GLOBAL ID：200903067558025339

膜厚測定方法

Inventor： 岩本 洋次郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997197724
Publication number (International publication number)：1999023229
Application date： Jul. 08, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】 透明な面の膜厚を測定する場合に測定精度が高く測定時間が短い測定方法を提供する。【解決手段】 白色光を光源とする干渉縞検出方式の検出器を用いて、ワークの同一位置における干渉縞の第1番目の強度31と第2番目の強度32とを検出し、2つの強度を検出したときの検出器の走査位置の差から、ワークの膜厚hを算出する。

Claim (excerpt)：

ワークの透明な膜厚を測定する方法であつて、白色光を光源とする干渉縞検出方式の検出器によって、ワークの同一位置における干渉縞の第1番目の強度と第2番目の強度とを検出し、前記第1番目の強度を検出したときの前記検出器の走査位置と、前記第2番目の強度を検出したときの前記検出器の走査位置との差から、ワークの膜厚を測定することを特徴とする膜厚測定方法。