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J-GLOBAL ID:200903067568105730

フローセンサおよびこれを用いた流量計

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三好 秀和 (外8名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999317376
Publication number (International publication number):2001165731
Application date: Nov. 08, 1999
Publication date: Jun. 22, 2001
Summary:
【要約】【課題】 流体の種類の変化に対する高い測定精度を有し、小型化、低コスト化が可能なフローセンサを提供する。【解決手段】 流体の流れの中に設置され、流体の流量を測定する流量測定部52と、流れのない流体の中に設置され、流体の熱伝導率を測定する熱伝導率測定部54とを備えたフローセンサである。流量測定部52および熱伝導率測定部54は、流体を加熱するヒータ16,26と、ヒータ16,26の近傍に配置された温度センサ14,18,24,28、とから構成されている。
Claim (excerpt):
流体の流れの中に設置され、該流体の流量を測定する流量測定部と、流れのない前記流体の中に設置され、前記流体の熱伝導率を測定する熱伝導率測定部とを有し、前記流量測定部および熱伝導率測定部は、前記流体を加熱するヒータと、該ヒータの近傍に配置された温度センサ、とから成ることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2):
G01F 1/68 ,  G01N 25/18
FI (2):
G01F 1/68 ,  G01N 25/18 K
F-Term (25):
2F035EA05 ,  2F035EA08 ,  2G040AA02 ,  2G040AB08 ,  2G040AB09 ,  2G040AB10 ,  2G040BA23 ,  2G040CA02 ,  2G040CA07 ,  2G040CA14 ,  2G040CA22 ,  2G040CB02 ,  2G040DA03 ,  2G040DA12 ,  2G040DA15 ,  2G040DA21 ,  2G040EA02 ,  2G040EA13 ,  2G040EB02 ,  2G040FA01 ,  2G040GA05 ,  2G040GA07 ,  2G040HA01 ,  2G040HA16 ,  2G040ZA05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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