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J-GLOBAL ID:200903067568105730
フローセンサおよびこれを用いた流量計
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
三好 秀和 (外8名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999317376
Publication number (International publication number):2001165731
Application date: Nov. 08, 1999
Publication date: Jun. 22, 2001
Summary:
【要約】【課題】 流体の種類の変化に対する高い測定精度を有し、小型化、低コスト化が可能なフローセンサを提供する。【解決手段】 流体の流れの中に設置され、流体の流量を測定する流量測定部52と、流れのない流体の中に設置され、流体の熱伝導率を測定する熱伝導率測定部54とを備えたフローセンサである。流量測定部52および熱伝導率測定部54は、流体を加熱するヒータ16,26と、ヒータ16,26の近傍に配置された温度センサ14,18,24,28、とから構成されている。
Claim (excerpt):
流体の流れの中に設置され、該流体の流量を測定する流量測定部と、流れのない前記流体の中に設置され、前記流体の熱伝導率を測定する熱伝導率測定部とを有し、前記流量測定部および熱伝導率測定部は、前記流体を加熱するヒータと、該ヒータの近傍に配置された温度センサ、とから成ることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (25):
2F035EA05
, 2F035EA08
, 2G040AA02
, 2G040AB08
, 2G040AB09
, 2G040AB10
, 2G040BA23
, 2G040CA02
, 2G040CA07
, 2G040CA14
, 2G040CA22
, 2G040CB02
, 2G040DA03
, 2G040DA12
, 2G040DA15
, 2G040DA21
, 2G040EA02
, 2G040EA13
, 2G040EB02
, 2G040FA01
, 2G040GA05
, 2G040GA07
, 2G040HA01
, 2G040HA16
, 2G040ZA05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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集積型マイクロセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-245899
Applicant:株式会社日立製作所
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特開平4-043918
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防風構造を有するマイクロガスセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-139916
Applicant:東京瓦斯株式会社
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センサ取付板、センサユニット及び流速センサモジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-225439
Applicant:矢崎総業株式会社
-
流速センサ及び流速計測方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-228620
Applicant:矢崎総業株式会社
-
フルイディック型ガス流量計
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-052455
Applicant:リコーエレメックス株式会社
-
ガスメータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-212305
Applicant:矢崎総業株式会社
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