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J-GLOBAL ID：200903067580944437

液晶ディスプレイ基板の検査装置

Inventor： フランソア ジェイ・ヘンリィ
Applicant, Patent owner： フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド ,  石川島播磨重工業株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992242371
Publication number (International publication number)：1993240800
Application date： Sep. 10, 1992
Publication date： Sep. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は液晶表示パネルに用いられるアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査できる装置を提供することを目的とする。【構成】 電気光学素子とアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板とを備えた検査部と、前記基板に光を照射する照明部と、前記電気光学素子に直角に光を導入する導光器と、前記電気光学素子からの反射光を受ける受光部とを備えている。照明部はハロゲンライトとフィルタなどを備え、電気光学素子には誘電体多層膜の光反射体が設けられ、導光器は透明体に半透明鏡が組み込まれ、光軸に対し傾斜して設置されている。【効果】 本発明の装置によれば、アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の種々の欠陥を検出することができ、検出時の精度が高い。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された複数のゲート配線と複数のソース配線と複数の画素電極とを具備してなる薄膜トランジスタを有する液晶ディスプレイ基板を検査する装置において、底部に光反射体が上部に透明電極が各々設けられ電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子と前記液晶ディスプレイ基板とが電気光学素子の底部と液晶ディスプレイ基板の上面との間に微小間隔をおいて対向配置される検査部と、前記電気光学素子に入射するための光を出射する光源を備えた照明部と、前記照明部から出射された光を受けてこの光を電気光学素子の上面に垂直に導入するとともに電気光学素子からの反射光を前記光源側と別方角に導く導光器と、 前記電気光学素子からの反射光が前記導光器を介して入射される受光器を備えた結像部とを具備してなることを特徴とする液晶ディスプレイ基板の検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/00 ,  G09F 9/00 352

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-142498
  
• 特開昭64-018073
  
• 特開平3-167490