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J-GLOBAL ID：200903067602212729

ガルバノ装置の製造方法及びガルバノ装置

Inventor： 大高 和雄
Applicant, Patent owner： ミヨタ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000223515
Publication number (International publication number)：2002040353
Application date： Jul. 25, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 基板に、可動板と可動板を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーを一体に形成し、前記可動板を揺動するガルバノ装置の共振周波数を調整する。【解決手段】基板に、可動板と可動板を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーを一体に形成し、前記可動板を揺動するガルバノ装置の製造方法において、前記可動板を揺動させながらトーションバーを加工することにより可動板の共振周波数を調整するガルバノ装置の製造方法とする。

Claim (excerpt)：

基板に、可動板と可動板を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーを一体に形成し、前記可動板を揺動するガルバノ装置の製造方法において、前記可動板を揺動させながらトーションバーを加工することにより可動板の共振周波数を調整することを特徴とするガルバノ装置の製造方法。

IPC (4)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  G01R 5/00 ,  G02B 26/08

FI (4)：

G02B 26/10 104 Z ,  G01R 5/00 B ,  G02B 26/08 E ,  B41J 3/00 D

F-Term (11)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 光スキャナおよびそれを用いた光センサ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-023023   Applicant：オムロン株式会社