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J-GLOBAL ID：200903067612239854
座標測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997068269
Publication number (International publication number)：1998260009
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：
【要約】【課題】 移動鏡の形状の影響を確実に排除することができる座標測定装置を提供する。【解決手段】 移動鏡2Xの2点にレーザビームを照射することにより2点間の相対位置関係を検出する形状計測用干渉計13,14と、ステージ1の2点にレーザビームを照射したときの2点間の相対位置関係に基づいてステージ1の回転角を検出する回転角検出用干渉計21,22とを備え、移動鏡2Xに沿ってステージ1を移動したときに形状計測用干渉計13,14により検出した複数の相対位置関係データを繋ぎ合わせるとともに、回転角検出用干渉計21,22により検出した回転角データに基づいて相対位置関係データを補正することにより移動鏡2Xの形状を計測し、計測された移動鏡2Xの形状に基づいて測定点の座標を補正する。
Claim (excerpt)：
被測定物を移動させるステージと、前記ステージに取付けられた平面状の移動鏡と、前記移動鏡に向けてレーザビームを照射することにより前記ステージの位置を計測する座標測定用干渉計と、前記被測定物上の測定点を検出する検出器とを備え、前記検出器が前記測定点を検出したときの前記ステージの位置を前記座標測定用干渉計によって計測することにより前記測定点の座標を測定する座標測定装置において、前記移動鏡の2点にレーザビームを照射することにより2点間の相対位置関係を検出する形状計測用干渉計と、前記ステージに設けた別の鏡の2点にレーザビームを照射したときの2点間の相対位置関係に基づいて前記ステージの回転角を検出する回転角検出用干渉計とを備え、前記移動鏡に沿って前記ステージを移動したときに前記形状計測用干渉計により検出した複数の相対位置関係データを繋ぎ合わせるとともに、前記回転角検出用干渉計により検出した回転角データに基づいて前記相対位置関係データを補正することにより前記移動鏡の形状を計測し、計測された前記移動鏡の形状に基づいて前記測定点の座標を補正することを特徴とする座標測定装置。
IPC (3)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, G01B 11/26
G01B 11/00 G
, G01B 9/02
, G01B 11/26 G
