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J-GLOBAL ID：200903067623031376
光スキャナ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
足立 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993209508
Publication number (International publication number)：1995065098
Application date： Aug. 24, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 小型で、かつ、外乱の影響を受け難く、走査パターンの直線性を確保すると共に、大きな走査角の光スキャナを提供すること。【構成】 光スキャナ1 は、ベリリウム銅,リン青銅などの導電性かつ弾性の材料から略ロ字上で上方にミラー接着部を延出された基体2 と、この基体2 に片持ち梁状に各一端を固定端として併設された2個の圧電バイモルフ3,3と、この2個の圧電バイモルフ3,3の自由端側同士を連結する連結部材4 と、連結部材4 の中央部から上方に延出されたねじり変形部材5 と、ねじり変形部材5 の先端に設けられたミラー部6 とを備えている。光スキャナ1 は、曲げとねじりの2自由度の振動系として構成され、圧電バイモルフ3,3に曲げ共振周波数相当の同位相の振動を生じさせることでミラー部6 を大きく曲げ共振させ、ねじり共振周波数相当の逆位相の振動を生じさせることでミラー部6 をねじり大きく共振させる。
Claim (excerpt)：
光源から照射される光をミラー部で反射して被検出体に照射し、該ミラー部を振動させることによって被検出体の所定方向に光を走査する光スキャナにおいて、片持ち梁状に各一端を固定端として併設された2個の曲げ運動を行う駆動源と、該2個の駆動源の自由端側同士を連結する連結部材と、該連結部材の中央部から延出されたねじり変形部材と、該ねじり変形部材に設けられたミラー部とを備え、該ミラー部の重心がねじり変形部材のねじり中心軸上に位置せしめられていることを特徴とする光スキャナ。
Patent cited by the Patent：
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