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J-GLOBAL ID：200903067623716450

基板ホルダー保持装置

Inventor： 山村 和市 ,  横田 明義 ,  江島 正毅 ,  吉田 郁男 ,  清水 佳昌 ,  小林 利美
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995098419
Publication number (International publication number)：1996297869
Application date： Apr. 24, 1995
Publication date： Nov. 12, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 真空処理装置の繰り返し作動の経時変化により生じた基板ホルダーの中心とマスクの中心とのずれを吸収して、スムースな勘合を可能とし、繰り返し作動の信頼性を確保・向上させる基板ホルダー保持装置を得る。【構成】 真空下で円盤状の基板に成膜を行うにあたり、基板ホルダーと成膜領域を遮断するマスクとにより該基板を挟み込んで固定するための基板ホルダーを備え、基板ホルダーへ基板とマスクの着脱操作を基板中心の軸方向の前後移動だけで行なうことよりなる基板ホルダー保持装置において、前記基板ホルダーは回転移動を行う搬送台に複数の引っ張りバネのみにより掛止され、かつ、該搬送台の貫通孔を介して前記基板ホルダーに密着し得る前後移動可能な突き出しバネを設けたことを特徴とする基板ホルダー保持装置。

Claim (excerpt)：

真空下で円盤状の基板に成膜を行うにあたり、基板ホルダーと成膜領域を遮断するマスクとにより該基板を挟み込んで固定するための基板ホルダーを備え、基板ホルダーへ基板とマスクの着脱操作を基板中心の軸方向の前後移動だけで行なうことよりなる基板ホルダー保持装置において、前記基板ホルダーは回転移動を行う搬送台に複数の引っ張りバネのみにより掛止され、かつ、該搬送台の貫通孔を介して前記基板ホルダーに密着し得る前後移動可能な突き出しバネを設けたことを特徴とする基板ホルダー保持装置。