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J-GLOBAL ID:200903067632002800
感光性樹脂組成物
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
船越 康弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991262704
Publication number (International publication number):1994095379
Application date: Sep. 14, 1991
Publication date: Apr. 08, 1994
Summary:
【要約】【目的】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマーとエポキシ化合物と潜在的硬化剤を用いることにより、アルカリ性水溶液による現像性を有し、かつ、感度、解像度、耐無電解めっき液性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。【構成】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマーとエポキシ化合物と潜在的硬化剤、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物である。
Claim (excerpt):
A.アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、B.少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物、C.少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有し、光重合開始剤により重合体の形成が可能な常温で液体または固体のエチレン性不飽和化合物、D.光重合開始剤、および、E.三フッ化ホウ素アミン錯体、ジシアンジアミド、有機酸ヒドラジッド、ジアミノマレオニトリル類、メラミン類、下記一般式化1で表わされるアミンイミド、アミンと有機酸またはフェノール類との塩、および、ケチミンより選ばれる少なくとも1種のエポキシ硬化剤からなる感光性樹脂組成物。【化1】(ただし、R1 、R4 は炭素原子数1〜6の脂肪族炭化水素またはエーテル結合を有する炭素原子数1〜6の脂肪族炭化水素、R2 、R3 は炭素原子数1〜6の脂肪族炭化水素を表す。)
IPC (11):
G03F 7/027 502
, G03F 7/004 503
, G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/032 501
, G03F 7/033
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
, H05K 3/00
, H05K 3/18
, H05K 3/28
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