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J-GLOBAL ID：200903067638392049
保護膜
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000243719
Publication number (International publication number)：2001081565
Application date： Mar. 02, 1988
Publication date： Mar. 27, 2001
Summary：
【要約】【課題】 PETからなる被形成面に対して密着性のよい硬度のある炭素被膜を形成する。【解決手段】 PETからなる被形成面にスパッタによる損傷を与えない程度のセルフバイアスで炭素または炭素を主成分とする被膜を形成し、徐々に高周波エネルギを増加して被膜の硬度を上げていく。
Claim (excerpt)：
高周波エネルギーが加えられる反応系に、炭化物気体分子が導入され、PETからなる被形成面に炭素または炭素を主成分とする被膜が形成される被膜の形成方法で、前記高周波エネルギーの出力が段階的に増加させられることを特徴とする炭素または炭素を主成分とする被膜の形成方法。
IPC (3)：
C23C 16/27
, C01B 31/02 101
, C23C 16/509
C23C 16/27
, C01B 31/02 101 Z
, C23C 16/509
