Pat
J-GLOBAL ID：200903067654120822
ドライエッチング装置用ポリベンゾイミダゾール系樹脂製物品
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
池浦 敏明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994195911
Publication number (International publication number)：1996041309
Application date： Jul. 28, 1994
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ドライエッチング装置内又はその周辺で用いられる各種物品の劣化を防ぎ、長寿命化、破損等に伴うメンテナンス作業の合理化、ひいてはエッチング装置そのものの長寿命化、合理化及び性能を改善することのできるドライエッチング装置用ポリベンゾイミダゾール系樹脂製物品を提供する。【構成】 ドライエッチング装置のチェンバー内又はその周辺で使用される物品であって、少なくとも表面部分がポリベンゾイミダゾール及びポリアリーレンケトンを含む均質混合物から成ることを特徴とする、例えば、ボルト、ナット、ブッシュ軸受又は被エッチング部材固定用治具等のドライエッチング装置用ポリベンゾイミダゾール系樹脂製物品。
Claim (excerpt)：
ドライエッチング装置のチェンバー内又はその周辺で使用される物品であって、少なくとも表面部分がポリベンゾイミダゾール10〜80重量%及びポリアリーレンケトン90〜20重量%を含有する均質混合物から成ることを特徴とするドライエッチング装置用ポリベンゾイミダゾール系樹脂製物品。
IPC (4)：
C08L 71/10 LQK
, C08L 79/08 LQZ
, C23F 4/00
, H01L 21/302
