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J-GLOBAL ID：200903067668153430

顕微鏡用の焦点検出装置

Inventor： 石川 愛一 ,  松野 淳
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999213300
Publication number (International publication number)：2001042205
Application date： Jul. 28, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 顕微鏡の対物レンズに光軸非対称な光束を入射させ、被検物体上に投影される光像(ボケ像)の横ずれに基づいて、顕微鏡の焦点ずれを検出する顕微鏡用の焦点検出装置において、階調変化や凹凸を有する被検物体に対して高い焦点検出精度を得ることを目的とする。【解決手段】 被検物体を撮像して得た画像信号を輝度制限することにより、被検物体の階調変化や凹凸などに起因する光量分布の変化を抑圧する。その結果、被検物体の階調変化や凹凸などによる焦点検出誤差を的確に排除することが可能となる。また、輝度制限に先立って、画像信号の黒レベル変動を補正する。そのため、輝度制限によって黒レベル変動の影響が大きくあらわれるなどの不具合もなくなり、さらに高い焦点検出精度を得ることが可能となる。

Claim (excerpt)：

顕微鏡の対物レンズに対し光軸非対称に光束を入射させて、顕微鏡の被検物体に光像(ボケ像も含む)を投影する光束入射手段と、前記被検物体上の光像を撮像する光電変換部と、前記光電変換部の画像信号から前記光像の光量分布を判定し、前記被検物体上の光像の横ずれを検出する信号処理部とを備え、前記信号処理部により検出された前記横ずれに対応して、前記顕微鏡の焦点ずれを検出する焦点検出装置において、前記信号処理部は、前記画像信号に基づく前記光量分布の判定に先立って、前記画像信号の輝度を制限する輝度制限手段を備えることを特徴とする顕微鏡用の焦点検出装置。

IPC (2)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/00

FI (3)：

G02B 7/11 N ,  G02B 21/00 ,  G02B 7/11 J

F-Term (13)：

2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051BA49 ,  2H051BA72 ,  2H051CB05 ,  2H051CB11 ,  2H051CC02 ,  2H051CD01 ,  2H051CD30 ,  2H051CE14 ,  2H051DA22 ,  2H052AC04 ,  2H052AD09