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J-GLOBAL ID：200903067676035543

プラズマディスプレイパネルの製造方法および転写フィルム

Inventor： 板野 考史 ,  宮本 秀俊
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001285840
Publication number (International publication number)：2003100205
Application date： Sep. 19, 2001
Publication date： Apr. 04, 2003
Summary：

【要約】【課題】 製造効率が高く、パターニング性に優れ、また従来の方法に比べて実質的に作業性を向上させることができるPDPの製造方法および転写フィルムを提供すること。【解決手段】 基板上に、第一の無機粉体含有樹脂層、当該第一の無機粉体含有樹脂層上に第二の無機粉体含有樹脂層、および当該第二の無機粉体含有樹脂層上にレジスト膜を形成し、レジスト膜を露光・現像処理して、レジストパターンを第二の無機粉体含有樹脂層上に形成し、第二の無機粉体含有樹脂層をエッチング処理して、レジストパターンに対応する第二の無機粉体含有樹脂層パターンを第一の無機粉体含有樹脂層上に形成し、第一の無機粉体含有樹脂層および当該第一の無機粉体含有樹脂層上に形成された第二の無機粉体含有樹脂層パターンを焼成するPDPの製造方法を提供する。

Claim (excerpt)：

下記(i)〜(iv)の工程を含む方法により無機膜上にパターンを形成することを特徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方法。(i)基板上に、第一の無機粉体含有樹脂層、当該第一の無機粉体含有樹脂層上に第二の無機粉体含有樹脂層、および当該第二の無機粉体含有樹脂層上にレジスト膜を形成する工程。(ii)レジスト膜を露光・現像処理して、レジストパターンを第二の無機粉体含有樹脂層上に形成する工程。(iii)第二の無機粉体含有樹脂層をエッチング処理して、レジストパターンに対応する第二の無機粉体含有樹脂層パターンを第一の無機粉体含有樹脂層上に形成する工程。(iv)第一の無機粉体含有樹脂層および当該第一の無機粉体含有樹脂層上に形成された第二の無機粉体含有樹脂層パターンを焼成する工程。

IPC (2)：

H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (2)：

H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

F-Term (24)：

5C027AA01 ,  5C027AA05 ,  5C027AA09 ,  5C027AA10 ,  5C040GC18 ,  5C040GC19 ,  5C040GD07 ,  5C040GD09 ,  5C040GF18 ,  5C040GF19 ,  5C040GG09 ,  5C040GH03 ,  5C040GH07 ,  5C040JA09 ,  5C040JA15 ,  5C040JA19 ,  5C040JA21 ,  5C040KA14 ,  5C040KB03 ,  5C040KB17 ,  5C040KB19 ,  5C040LA17 ,  5C040MA23 ,  5C040MA26