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J-GLOBAL ID：200903067678203290

共焦点型焦点位置検出装置

Inventor： 近藤 道雄 ,  長谷川 浩幸
Applicant, Patent owner： ブラザー工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992132363
Publication number (International publication number)：1994137864
Application date： May. 25, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 画像処理装置の自動焦点合わせを高精度できる共焦点型焦点位置検出装置、あるいは試料面の凹凸を高精度で測定できる共焦点型焦点位置検出装置を提供することにある。【構成】 光ファイバーを利用する共焦点型焦点位置検出装置において、光ファイバー9の端面6をアクチュエータ8によって光軸方向に往復移動させ、試料2表面の共焦点光学系1の焦点位置からのずれを表す誤差信号を光検出器14aに発生させる。その往復移動の振幅と中心位置の変動ををモニタ光学系30で検出し、その変動を打ち消すようにアクチュエータ8に帰還制御を加える。

Claim (excerpt)：

光ファイバーに光を入射させる入射光学系と、前記光ファイバー端面から出射する光を試料面上に集光させると同時にその試料面上からの反射光を前記光ファイバー端面に集光させる共焦点型光学系と、前記光ファイバー端面または前記共焦点型光学系内の一部の光学素子のいずれかを光軸方向に移動させるアクチュエータと、前記共焦点型光学系から前記光ファイバー端面に集光させられた光の一部または全部を前記光ファイバーから取り出す分岐光学系と、その分岐光学系から取り出した光を光検出器で電気信号に変換し信号処理する電気系とを有し、前記分岐光学系から取り出される光量に基づいて前記共焦点型光学系の焦点位置に対する前記試料面のずれを検出する共焦点型焦点位置検出装置において、前記光ファイバー端面または前記共焦点型光学系内の一部の光学素子が光軸方向に移動されるのに応じて発散収束角が変化させられる光の一部を検出するモニタ光学系を備えたことを特徴とする共焦点型焦点位置検出装置。

IPC (5)：

G01C 3/06 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/22 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06