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J-GLOBAL ID：200903067709182385

圧電デバイス

Inventor：
御子柴 尚

About 御子柴 尚

, 
川内 修

About 川内 修


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 上柳 雅誉 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000191257
Publication number (International publication number)：2002009577
Application date： Jun. 26, 2000
Publication date： Jan. 11, 2002
Summary：
【要約】【課題】 気密性の高い圧電振動子を作業性良く製造するための圧電振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】 圧電振動片を搭載したベース1と、この圧電振動片3を内部に収容するようにして、前記ベースに固定される蓋体とでパッケージを形成するようにした圧電デバイス11あって、前記パッケージの一部に所定の内径を備えパッケージ内に開口した第1の穴21と、これより大きな内径を備え外部に開口した第2の穴22を備えた段付きの開口部を有し、前記第2の穴の底部である段部と、この第2の穴の内周面には、それぞれ金属被覆部24a,24bが設けられており、かつ前記開口部8内に封止材9が適用されて封止されている。
Claim (excerpt)：
圧電振動片を搭載したベースと、この圧電振動片を内部に収容するようにして、前記ベースに固定される蓋体とでパッケージを形成するようにした圧電デバイスであって、前記パッケージの一部に所定の内径を備えパッケージ内に開口した第1の穴と、これより大きな内径を備え外部に開口した第2の穴を備えた段付きの開口部を有し、前記第2の穴の底部である段部と、この第2の穴の内周面には、それぞれ金属被覆部が設けられており、かつ前記開口部内に封止材が適用されて封止されていることを特徴とする、圧電デバイス。
IPC (6)：
H03H 9/10 ,  H01L 23/02 ,  H01L 41/09 ,  H03H 3/02 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/02
FI (6)：
H03H 9/10 ,  H01L 23/02 C ,  H03H 3/02 B ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/02 M ,  H01L 41/08 C
F-Term (13)：
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF11 ,  5J108FF14 ,  5J108GG13 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108KK04 ,  5J108KK06 ,  5J108NB04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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