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J-GLOBAL ID:200903067719208633
半導体回転角度センサ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大川 宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994141931
Publication number (International publication number):1996005312
Application date: Jun. 23, 1994
Publication date: Jan. 12, 1996
Summary:
【要約】【目的】回動体に非接触に回動角度を検出できるとともに感度のばらつきが低減可能な半導体回転角度センサを提供する。【構成】ホール素子が形成された半導体基板を収容するパッケージ50,60を1個の支持体4の互いに所定角度ずれた複数の基板搭載面44、45に固定し、平行磁界と各ホール素子との間の各交差角の絶対値が最も小さいホール素子の出力電圧を選択し、選択した各出力電圧を補正して連続化して出力する。これにより、感度のばらつきを簡単な構成で低減することができる。
Claim (excerpt):
互いに所定角度ずれた複数の基板搭載面を有する偏角指定用の支持体と、それぞれ感磁性半導体素子が形成されるとともに前記各基板搭載面に個別に固定される複数の半導体基板と、前記半導体基板の主面に平行な回転軸心を中心として前記半導体基板に対して相対回動するとともに前記各感磁性半導体素子に平行磁界を印加する磁界発生手段と、所定の回動角度範囲毎に前記各感磁性半導体素子の出力電圧の一つを選択するとともに、少なくとも1つの回動角度範囲において前記平行磁界と前記各感磁性半導体素子との間の各交差角の絶対値が最も小さい感磁性半導体素子の出力電圧を選択して出力する選択手段と、前記各感磁性半導体素子の出力電圧をそれぞれ補正することにより、前記平行磁界と前記半導体基板との間の角度に対する前記選択手段の出力電圧の大きさの変化を略連続化する補正手段と、を備えることを特徴とする半導体回転角度センサ。
IPC (2):
G01B 7/30 101
, G01D 5/18
Patent cited by the Patent: