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J-GLOBAL ID：200903067724112652

格子欠陥観察用電子顕微鏡

Inventor： 柿林 博司 ,  村越 久弥 ,  奥平 秀和 ,  入江 隆史 ,  鴇田 二郎 ,  兼堀 恵一 ,  三井 ▲泰▼裕
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994128471
Publication number (International publication number)：1995335165
Application date： Jun. 10, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】被観察試料とは別個に用意した参照用試料の使用を可能にすることにより、被観察試料に好ましくない加工を施さなくても格子欠陥の探索を行なうことができる電子顕微鏡を提供すること。試料の種類又は性質に応じた最適の格子欠陥探索条件を任意に選択することができる電子顕微鏡を提供すること。【構成】電子顕微鏡の筐体に対して挿脱可能な一対の試料ホルダを電子線軸に沿って上下2段に隣接して配設する。一対の試料ホルダは、電子線照射位置(試料観察位置)に対する据付及び離脱を各試料ホルダごとに独立して操作するができるように構成する。また、一対の試料ホルダは、試料相互間の間隔、電子線軸に対する試料の設置角度及び電子線軸と直交する面内における試料の設置角度を選択的に微細調整するための手段を包含することが望ましい。

Claim (excerpt)：

電子線を放射するための電子銃と、放射された電子線を試料に照射するための第1の電子レンズ系と、電子線軸に沿って上下2段に隣接して配設された挿脱可能な一対の試料ホルダと、試料を通過した電子線を収束して所定位置に結像させるための第2の電子レンズ系と、電子線照射位置に対する試料ホルダの据付及び離脱を各試料ホルダごとに独立して操作するための手段を備えたことを特徴とする格子欠陥観察用電子顕微鏡。