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J-GLOBAL ID：200903067759271753

炭化水素の検出方法及び基材又は基板表面の汚染防止方法と装置

Inventor： 藤井 敏昭 ,  小山 知佳子
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原総合研究所 ,  株式会社荏原製作所
Agent (1)： 吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993207005
Publication number (International publication number)：1995092157
Application date： Jul. 30, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 気体中に含まれる微量の炭化水素を簡単な手段で検出できる方法と、その方法を用いて捕集材の寿命を検出する汚染防止方法と装置を提供する。【構成】 気体中に微量含まれる炭化水素を検出する方法において、気体中の炭化水素をヨウ素の遊離に伴う色調の変化で検出するものであり、また基材又は基板と接触する気体2を、除塵手段7と、吸着及び/又は吸収手段4とにより浄化し、前記気体中の微粒子濃度をクラス1000以下、非メタン炭化水素濃度を0.2ppm 以下となした後、前記気体を基材又は基板表面10に暴露することによる基材又は基板表面の汚染を防止する方法において、前記気体中の炭化水素をヨウ素の遊離に伴う色調の変化で検出してモニターしながら行うこととしたものである。

Claim (excerpt)：

気体中に微量含まれる炭化水素を検出する方法において、気体中の炭化水素をヨウ素の遊離に伴う色調の変化で検出することを特徴とする炭化水素の検出方法。

IPC (4)：

G01N 31/22 122 ,  B01D 53/72 ,  G01N 31/00 ,  G01N 31/22