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J-GLOBAL ID：200903067790482754

投影光学装置

Inventor： 池田 正俊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 飯塚 雄二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996069093
Publication number (International publication number)：1997236929
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 外部より容易にコマ収差を補正可能にする。【解決手段】 投影光学装置(20)を構成する複数の光学素子(28a, 28b,28c, 28d, 28e)を保持する外枠(32a, 32b)を、当該装置(20)の瞳面(100)とマスク(10)との間で分割する。分割された外枠(32a, 32b)同士の相対位置を調整することにより、コマ収差を補正する。

Claim (excerpt)：

複数の光学素子からなり、マスク上に形成されたパターンを基板上に投影する投影光学装置において、前記複数の光学素子を保持する外枠を備え、前記外枠を当該装置の瞳面と前記マスクとの間で分割し、当該装置のコマ収差を補正するように、前記分割された外枠同士の相対位置を調整する調整手段を設けたことを特徴とする投影光学装置。

IPC (2)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A