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J-GLOBAL ID：200903067792867319

稼働データ収集システムおよび情報記憶媒体

Inventor： 金本 耕司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996167044
Publication number (International publication number)：1998012509
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 製造装置の稼働状況を正確に把握する。【解決手段】 ワークに所定の加工を施す複数台の製造装置と、製造装置それぞれについて設置され、装置稼働状態を表示する複数の大項目、および大項目のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの範疇および段階に細分類化されてなる複数の小項目に対応して設けられた複数の要因ボタン8a〜8pを備えた複数台の状態入力部2と、各要因ボタン8a〜8pについての押下回数および押下時間を集計するホストコンピュータと、このホストコンピュータによる集計結果を項目別にして表示するデータ表示部とを有する。データ表示部では、小項目を伴う大項目の要因ボタン8c,8eが押された場合にはその要因ボタン8c,8eの押下時間を次に押された小項目の要因ボタン8f〜8iの押下時間に取り込んで、それ以外の場合には押された単独で、それぞれの押下時間を表示する。

Claim (excerpt)：

ワークに所定の加工を施す複数台のワーク処理部と、複数台の前記ワーク処理部それぞれについて設置され、前記ワーク処理部の稼働状態を表示する複数の第1の項目群、および前記第1の項目群のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの範疇および段階に細分類化されてなる複数の第2の項目群に対応して設けられた複数の要因ボタンを備えた複数台の状態入力部と、全ての前記状態入力部における前記要因ボタンそれぞれについての押下回数および押下時間を集計するデータ集計部と、前記データ集計部による集計結果を前記第1および第2の項目群を構成する項目別にして表示するデータ表示部とを有し、前記データ表示部では、前記第2の項目群を伴う前記第1の項目群の前記要因ボタンが押された場合にはその要因ボタンの押下時間を次に押された前記第2の項目群の前記要因ボタンの押下時間に取り込んで、それ以外の場合には押された前記要因ボタン単独で、それぞれの押下時間が表示されることを特徴とする稼働データ収集システム。

IPC (3)：

H01L 21/02 ,  G05B 23/02 ,  H01L 21/66

FI (3)：

H01L 21/02 Z ,  G05B 23/02 V ,  H01L 21/66 Z