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J-GLOBAL ID：200903067804922027
周辺露光装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993090537
Publication number (International publication number)：1994283406
Application date： Mar. 26, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：
【要約】【目的】 スループットを落とすことなく被露光領域に対応させて所望の形状に露光を行なうことを可能とする周辺露光装置を得る【構成】 周辺露光装置において、表面に感光剤が塗布された基板上の所定の照射領域に前記光源からの光を導くライトガイド手段の射出端と前記表面とを所定の移動方向に沿って相対的に移動させる移動手段を備え、前記射出端からの照射領域の形状が、前記移動方向に直交する方向に関して、前記移動方向に沿った長さが変化するよう構成した。
Claim (excerpt)：
光源と、表面に感光剤が塗布された基板上の所定の照射領域に前記光源からの光を導くライトガイド手段とを有する周辺露光装置において、前記ライトガイド手段の射出端と前記表面とを所定の移動方向に沿って相対的に移動させる移動手段を備え、前記射出端からの照射領域の形状は、前記移動方向に直交する方向に関して、前記移動方向に沿った長さが変化するよう構成されたことを特徴とする周辺露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (2)
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