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J-GLOBAL ID：200903067809123459

合成石英ガラス部材の製造方法および合成石英ガラス製造用バーナー

Inventor： 大塚 久利 ,  滝田 政俊 ,  杉田 勝美
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993288110
Publication number (International publication number)：1995138028
Application date： Nov. 17, 1993
Publication date： May. 30, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は径が 150mmφ以上で光学的に高品質な合成石英ガラス部材の製造方法およびこれに使用する合成石英ガラス製造用バーナーの提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、けい素化合物を直接火炎法によって火炎加水分解させて発生したシリカ微粒子を担体上に堆積し、溶融ガラス化して合成石英ガラス部材を製造する方法において、バーナーの設定角度位置を制御することを特徴とするものであり、この合成石英ガラス製造用バーナーはバーナー構造が同心5重管、この5重管を囲繞する外殻管およびこの外殻管中に配置された複数のノズルからなるものとされており、この同心5重管の中心管には原料ガス、不活性ガスおよび支燃性ガスが、2重管と4重管には支燃性ガスが、3重管と5重管および外殻管には燃性ガスが供給され、複数のノズルには支燃性ガスが供給されるようにされていることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

断熱炉内でけい素化合物をバーナーに供給し、直接火炎によって合成シリカ微粒子を生成させ、これを耐熱性担体上に堆積すると同時に溶融ガラス化して合成石英ガラス部材を連続的に軸方向に一定の速度で製造する方法において、バーナーの設定角度位置を制御して合成シリカ微粒子を堆積させる溶融面の温度分布を均一に保つようにしてなることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (4)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  F23D 14/22 ,  F23D 14/38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭61-091035
  
• 特公平2-031010
  
• 特開昭58-204833
  
• 特開昭62-091432
  
• 特開平2-064645