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J-GLOBAL ID：200903067825552351
光導波路モジュールの作製方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995347733
Publication number (International publication number)：1997166724
Application date： Dec. 15, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：
【要約】【課題】 接続端部材との位置決め用の位置決め溝を、導波路チップに正確に形成する。【解決手段】 図1の(a)から(d)に示すようにして、基板1の表面9側にクラッド層3に埋設してコア部2を形成し、導波路チップ13とする。(e)に示すように、コア部2の形成領域を挟む両側のクラッド層3bのガイド溝形成部位に、基板1に反応しないエッチング液を用いて定幅溝10を形成し、クラッド層3bをマスクとして、定幅溝10に露出した基板表面9側を、クラッド層3bに反応しないエッチング液を用いて異方性エッチングして、(f)に示すようにV字形状の位置決め溝16を形成し、この溝に、接続端部材側に設けた位置決め部を位置合わせして導波路チップ13と接続端部材とを嵌合固定する。
Claim (excerpt)：
基板の表面側にクラッド層に埋設してコア部を形成し、該コア部を埋設するクラッド層はコア部の両側の基板表面側に張り出して該基板表面を覆い、前記コア部の形成領域を挟む両側のクラッド層のガイド溝形成部位に基板に反応しないエッチング液を用いてエッチングを施し基板の上側のクラッド層に定幅溝を形成し、然る後にこのクラッド層をマスクとして前記定幅溝に露出した基板の表面側をクラッド層に反応しないエッチング液を用いて異方性エッチングすることにより基板表面側に斜面側壁を有するガイド溝を形成し、該ガイド溝を前記基板とクラッド層とコア部とから成る導波路チップのチップ側位置決め溝と成し、該導波路チップの接続端面両側にそれぞれ該導波路チップの接続端面を露出した状態で接続端部材を嵌合装着し、該接続端部材側に設けた位置決め部を前記導波路チップのチップ側位置決め溝と位置合わせして該導波路チップと接続端部材とを固定することを特徴とする光導波路モジュールの作製方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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