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J-GLOBAL ID：200903067831140898

干渉縞消失法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法

Inventor： 中村 直人 ,  古田 英二 ,  後藤 正貴
Applicant, Patent owner： 株式会社アカシ
Agent (1)： 飯沼 義彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997059844
Publication number (International publication number)：1998239146
Application date： Feb. 27, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】 振動発生装置における干渉縞消失法を用いた振動ピックアップの絶対校正を自動化して、効率を高め、測定者による誤差の発生を防止する。【解決手段】 干渉縞消失法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法は、加振振動数を設定振動数に設定し、目標振動加速度および干渉縞と振動鏡との目標振動数比を決定した後、以下自動的に行なわれる段階、すなわち最低出力電圧で振動を発生させる段階104、計数振動数比が上記目標振動数比の値に達したか否かを判定する段階106、計数振動数比が上記目標振動数比に達しないときに更新出力電圧で振動を発生させる段階108、上記計数振動数比が上記目標振動数比に等しいときに光電変換器の出力が最小となるように出力電圧を微調整する段階109、上記被校正振動ピックアップの検出出力電圧を読み取る段階110、このときの感度を演算する段階110等の各段階を含む。

Claim (excerpt)：

振動発生装置の加振振動数を設定振動数に設定し、目標振動加速度ref-acc を決定し、さらに上記振動発生装置の振動鏡の振動により生成される測定用照射光の干渉縞の振動数と上記振動発生装置が発生する振動の振動数との振動数比の目標値としての目標振動数比の値ref-rを決定した後、以下の各段階を自動的に経て上記振動発生装置の被校正振動ピックアップの絶対校正を行なうようにした干渉縞消失法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法であって、上記振動発生装置を振動させるのに必要な最低出力電圧で同振動発生装置に振動を発生させる段階と、比カウンタが計数した上記振動発生装置の振動鏡により生成される測定用照射光の干渉縞の振動数と上記振動発生装置が発生する振動の振動数との振動数比としての計数振動数比の値rを取り込む段階と、上記比カウンタが計数した計数振動数比の値rが上記目標振動数比の値ref-rに達したか否かを判定する段階と、判定の結果上記比カウンタが計数した計数振動数比の値rが上記目標振動数比の値ref-rに満たないときに上記振動発生装置を振動させるための更新出力電圧out を[数1]式【数1】更新出力電圧out=(前回出力電圧out)×(目標振動数比の値ref-r/計数振動数比の値r)に従って演算する段階と、上記更新出力電圧out の下で上記振動発生装置に振動を発生させる段階と、上記比カウンタが計数した計数振動数比の値rが上記目標振動数比の値ref-rに達したとき上記計数振動数比の値rが上記目標振動数比の値ref-r に等しい範囲内で上記振動発生装置の振動鏡の振動により生成される測定用照射光の干渉縞を検出する光電変換器の出力が最小となるように上記振動発生装置を振動させるための出力電圧outを微調整する段階と、同出力電圧outを微調整する段階において上記光電変換器の出力が最小となったときの上記被校正振動ピックアップの検出出力電圧Vを読み取る段階と、同出力電圧outを微調整する段階において上記光電変換器の出力が最小となったときの振動加速度acc を達成振動加速度Aとし上記被校正振動ピックアップの感度を感度Sとして[数2]式【数2】感度S=(被校正振動ピックアップの検出出力電圧V)/(達成振動加速度A)で与えられる感度を演算する段階とを含むことを特徴とする、干渉縞消失法を用いた振動ピックアップの絶対校正法における自動化方法。

IPC (4)：

G01H 1/00 ,  G01H 9/00 ,  G01M 7/02 ,  G01P 21/00

FI (4)：

G01H 1/00 Z ,  G01H 9/00 C ,  G01P 21/00 ,  G01M 7/00 C