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J-GLOBAL ID：200903067865836433
走査型トンネル顕微鏡装置及びそれによる測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高崎 芳紘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991355857
Publication number (International publication number)：1993172509
Application date： Dec. 20, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 STMにおいて、サーボスキャン法と退避スキャン法とを合理的に切り分けて使うようにしたい。【構成】 測定点数一定のもとでの測定範囲(又は測定時間)の大小に応じて、サーボスキャン法と退避スキャン法との切り分けを行い、測定する。
Claim (excerpt)：
走査型トンネル顕微鏡による被検体表面形状を測定する測定方法において、測定点数一定のもとでの測定範囲(又は測定時間)の大小に応じ、サーボスキャン法と退避スキャン法とを切り換えて測定を行うことを特長とする走査型トンネル顕微鏡装置による測定方法。
IPC (2)：
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