投影レンズ系

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：韮澤弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993116791
Publication number (International publication number)：1994331941
Application date： May. 19, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】レンズ材料として使用できる硝材が限定されている場合に、色収差を含む諸収差を有効に補正したコンパクトで製作性の問題の少ない高解像力・広露光面積投影レンズ系。【構成】複数のレンズから構成されており、その中の少なくとも1つのレンズが回折光学素子11からなる投影レンズ系10において、回折光学素子11が、近軸的には正パワーを持ち、光軸から離れるに従って正パワーから負パワーに連続的に変化するピッチ配列を持つ。回折光学素子は、屈折系で発生する収差と逆符号の大きな収差を発生させるので、投影レンズ系の諸収差を良好に補正し、軸上色収差も改善される。このようなピッチ配列により、回折光学素子の最小ピッチがあまり小さくならない。

Claim (excerpt)：

複数のレンズから構成されており、その中の少なくとも1つのレンズが回折光学素子からなる投影レンズ系において、前記回折光学素子が、近軸的には正パワーを持ち、光軸から離れるに従って正パワーから負パワーに連続的に変化するピッチ配列を持つことを特徴とする投影レンズ系。

IPC (2)：

G02B 27/42 , G02B 13/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平2-001109
特開昭63-239402
特開平2-001109

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