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J-GLOBAL ID：200903067969596159

透明導電膜のパターニング方法と透明電極付き基体

Inventor： 河村 有紀 ,  高木 悟 ,  佐藤 一夫 ,  宮崎 正美
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996242326
Publication number (International publication number)：1998091084
Application date： Sep. 12, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】低比抵抗透明導電膜の微細な電極パターンを高精度かつ歩留まり良く形成できるパターニング方法とその方法により形成された透明電極付き基体の提供。【解決手段】基体1上に酸に可溶な透明酸化物層2、4と金属層3とが積層されてなる透明導電膜を、ハロゲンイオンを含有する酸性水溶液を用いてエッチングした後、ハロゲン化アルカリ金属塩の水溶液に浸漬する。

Claim (excerpt)：

酸に可溶な透明酸化物層と金属層とが基体上に積層されてなる透明導電膜のパターニング方法において、上記基体の透明導電膜をハロゲンイオンを含有する酸性水溶液を用いてエッチングした後、この基体をハロゲン化アルカリ金属塩の水溶液で処理することを特徴とする透明導電膜のパターニング方法。

IPC (4)：

G09F 9/30 330 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/306

FI (4)：

G09F 9/30 330 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/28 301 Z ,  H01L 21/306 F