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J-GLOBAL ID：200903067971315140

イオンビームガイドチューブ

Inventor： リチャード デヴィッド ゴールドバーグ
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (2)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007182469
Publication number (International publication number)：2008034384
Application date： Jul. 11, 2007
Publication date： Feb. 14, 2008
Summary：

【課題】半導体ウェーハに隣接して配置されたイオン注入器のイオンビーム用ガイドチューブにおいて、ウエハからの脱ガスをガイドチューブ内側から容易に放出させる。【解決手段】ガイドチューブ16は、注入中のウェーハ中和に使用される帯電粒子を閉じ込めるために提供される。ガイドチューブは軸と、軸に沿ってイオンビームを受け取るための開放端と、軸に実質的に平行なチューブ壁と、ガイドチューブの内部から外部へのガス伝導通路を形成するチューブ壁を介する少なくとも1つの開口とを有し、通路は、ガイドチューブ軸に直交する通路を介する視線が実質的に閉ざされるように、ガイドチューブ軸に対してある鋭角で整列される長さと、長さを横断する最小寸法とを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

注入中のウェーハに隣接した注入器の場所に、注入中のウェーハ中和に使用される帯電粒子を閉じ込めるためのイオン注入器におけるイオンビーム用ガイドチューブであって、 軸と、前記軸に沿ってイオンビームを受け取るための開放端と、前記軸に実質的に平行なチューブ壁と、ガイドチューブの内部から外部にガス伝導通路を形成するチューブ壁を介する少なくとも1つの開口とを有しており、 前記通路が、前記ガイドチューブ軸に直交する通路を介する視線が実質的に閉ざされるように、前記ガイドチューブ軸に対してある鋭角で整列された長さと、前記長さを横断する最小寸法とを有するガイドチューブ。

IPC (2)：

H01J 37/317 ,  C23C 14/48

FI (2)：

H01J37/317 Z ,  C23C14/48 C

F-Term (4)：

4K029BD01 ,  4K029CA10 ,  4K029DE04 ,  5C034CC13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-144841
  
• イオン処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-249805   Applicant：日新電機株式会社