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J-GLOBAL ID：200903068002822627

ガスセンサ及びガス識別方法

Inventor： 柳田 博明 ,  宮山 勝 ,  疋田 和康
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 小杉 佳男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993249526
Publication number (International publication number)：1995103924
Application date： Oct. 05, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】ガスの種類を識別できるガスセンサ及びガス識別方法を提供する。【構成】センサヘッド10を炉50に保持した状態で、気体を流し、センサヘッド10に直流電圧電流特性(HP)およびDCバイアスを印加する。センサヘッド10の電圧、電流を、電圧計(YOKOGAWA 7651)52、電流計(YOKOGAWA 7562)54で測定すると共に、低周波インピーダンス分析器56を用いて複素インピーダンス(HP4192A)を測定する。

Claim (excerpt)：

端面同士がヘテロ接合することにより接合部が形成されたp型酸化物半導体及びn型酸化物半導体を有するセンサヘッドと、前記接合部に、直流バイアスが重畳された交流信号を印加する信号印加手段と、前記接合部のインピーダンス特性を測定するインピーダンス測定手段とを備えたことを特徴とするガスセンサ。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/02