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J-GLOBAL ID：200903068008176280

ドライフィルム用組成物及びドライフィルム

Inventor： 林 宏三郎 ,  内藤 啓一
Applicant, Patent owner： ソニーケミカル株式会社
Agent (1)： 田治米 登 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994339596
Publication number (International publication number)：1996184962
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 色選別マスクの構成素材である低炭素アルミキルド鋼箔等の鉄系金属材料を、ドライフィルムを用いて、高い感度と解像度でフォトエッチングできるようにする。【構成】 ドライフィルムの感光性塗膜を形成するドライフィルム用組成物を、(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤、(d) 染料及び(e) リン酸エステル変性不飽和化合物から形成し、かつ(e) リン酸エステル変性不飽和化合物を、(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤及び(d) 染料の合計の固形分100重量部に対して1.0〜7.0重量部含有させる。

Claim (excerpt)：

(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤、(d) 染料及び(e) リン酸エステル変性不飽和化合物を含有してなり、かつ(e) リン酸エステル変性不飽和化合物を、(a) ベースポリマー、(b) 重合性モノマー、(c) 光重合開始剤及び(d) 染料の合計の固形分100重量部に対して1.0〜7.0重量部含有していることを特徴とするドライフィルム用組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 512 ,  C08J 5/18 ,  G03F 7/027 502 ,  H01J 9/14