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J-GLOBAL ID：200903068038587551
加速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992204575
Publication number (International publication number)：1994027137
Application date： Jul. 08, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 駆動部によって可動部の位置を広範囲で制御し、可動部と変位検出部との間のギャップを大きくして、製造効率等を向上する。【構成】 シリコン材料から形成され、基端側が各基板22,23間に挟持された固定端となり先端側が空間24内に延びて質量部25Bとなった可動部としての片持梁25と、片持梁25の上,下方向の変位を下側検出電極27,上側検出電極28と質量部25Bとの間の静電容量変化に基づいて検出する変位検出部26と、変位検出部26からの変位検出信号に基づいて圧電体駆動回路34から圧電体32に駆動電圧信号を出力し、圧電体32によって片持梁25の位置を制御する駆動部31とから構成した。これにより、圧電体32の電気量-機械量変換特性を利用して片持梁25を大きく変位させることが可能となり、質量部25Bと各電極27,28との間のギャップL1 を大きくできる。
Claim (excerpt)：
シリコン材料または一部がシリコンの化合物材料から形成され、基端側が固定端となり先端側が加速度に応じて変位する質量部となった可動部と、該可動部の変位を静電容量変化に基づいて検出する変位検出部と、前記可動部の基端側に設けられた圧電体からなり、該変位検出部からの変位検出信号に基づき、前記可動部の変位が零となるように該可動部の位置を制御する駆動部とから構成してなる加速度センサ。
IPC (2)：
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