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J-GLOBAL ID：200903068039540710
縮小投影露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992086734
Publication number (International publication number)：1993234853
Application date： Feb. 24, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 半導体分野における縮小投影露光装置において、露光に必要な光源を集光するための楕円鏡(6)および光学部品を曇らないようにする。【構成】 ランプハウス(7)の空気の取り入れ口に空気清浄剤(2)、ヘパフィルター(3)、ファン(4)を設け、ランプハウス(7)内楕円鏡(6)の反射面の裏側にヒーター(1)、温度センサー(9)を取り付けたものである。またヒーター電源(10)、温度コントローラー(11)は外部に別に設置されている。
Claim (excerpt)：
半導体分野における縮小投影露光装置において、水銀ランプ(5)が発生する光を集光し反射するための楕円鏡(6)にヒーター(1)を取り付け、温度センサー(9)と温度コントローラー(11)により、楕円鏡(6)を任意の設定温度で保温できることを特徴とした装置。ならびにその装置を使用した露光方法。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
