Pat

J-GLOBAL ID：200903068040079571

蛍光体シートの製造方法および装置

Inventor： 柏谷 誠 ,  中田 純司
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 渡辺 望稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002159119
Publication number (International publication number)：2003344592
Application date： May. 31, 2002
Publication date： Dec. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】ガラス基板のような、比較的剛性の低い基板を用いる場合にも、この基板に変形を生じさせないようにして、平面性の高い蛍光体シートを製造可能とする、蛍光体シートの製造方法および装置を提供すること。【解決手段】真空チャンバ内で、シート状の基板に蛍光体層を成膜する蛍光体シートの製造に際し、前記真空チャンバ内に設けられた前記基板の保持手段において、前記基板の少なくとも中央部を静電吸着することにより、前記基板表面の平面性を高めた状態で、前記蛍光体層の成膜を行うことを特徴とする蛍光体シートの製造方法並びにこれを用いる装置。

Claim (excerpt)：

真空チャンバ内で、シート状の基板に蛍光体層を成膜する蛍光体シートの製造方法であって、前記真空チャンバ内に設けられた前記基板の保持手段において、前記基板の少なくとも中央部を静電吸着することにより、前記基板表面を平面状にしておいて、前記蛍光体層の成膜を行うことを特徴とする蛍光体シートの製造方法。

IPC (5)：

G21K 4/00 ,  C09K 11/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/50 ,  G01T 1/00

FI (5)：

G21K 4/00 L ,  C09K 11/00 B ,  C23C 14/06 L ,  C23C 14/50 A ,  G01T 1/00 B

F-Term (22)：

2G083AA03 ,  2G083BB01 ,  2G083CC02 ,  2G083CC04 ,  2G083CC10 ,  2G083DD11 ,  2G083EE02 ,  2G083EE07 ,  4H001CA01 ,  4H001CA08 ,  4H001XA35 ,  4H001XA55 ,  4H001XA63 ,  4H001YA63 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA41 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029EA01 ,  4K029JA05