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J-GLOBAL ID：200903068057954964

LAPS型pHセンサ

Inventor： ルドルフ ヘルマン ,  冨田 勝彦 ,  中西 剛 ,  田邉 裕貴
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996318773
Publication number (International publication number)：1997203722
Application date： Nov. 13, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 微小領域または微小表面さらには生物細胞中のpHを測定することができるLAPS型pHセンサを提供すること。【解決手段】 Si層2、SiO2 層3およびSi3 N4 層4をこの順で内側から外側に向かって積層して所謂MIS構造のセンサ部1を形成し、このセンサ部1に対して、内部または外部から光6を照射し、これによって、微小領域などの表面のpHを測定するようにした。

Claim (excerpt)：

Si層、SiO2 層およびSi3 N4 層をこの順で内側から外側に向かって積層してなり、先端が先細り状でかつ中空の円錐台状であるセンサ部の基部に光ファイバを挿入接続し、前記Si層側からセンサ部に対して光を照射するように構成したことを特徴とするLAPS型pHセンサ。

IPC (3)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/414 ,  G01N 37/00

FI (3)：

G01N 27/46 U ,  G01N 37/00 H ,  G01N 27/30 301 Z