表面欠陥検査装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：的場基憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000108076
Publication number (International publication number)：2001289787
Application date： Apr. 10, 2000
Publication date： Oct. 19, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】被検査面上の表面欠陥を光学的に検出する表面欠陥検査装置において、湾曲した被検査面に対して照明手段による照明光の照射角度および撮像手段による撮像角度を適切に制御する。【解決手段】位置データおよび曲面形状データに基づいて被検査面に対する照射角度αおよび撮像角度βが所定の値になるように照明手段2および撮像手段3の角度や高さを制御する照明/撮像制御手段8を備え、該手段8において、基本制御特性決定手段10により、照明手段および撮像手段の基本的な制御特性を決定し、湾曲対応角度補正手段11により、被検査面の所定の位置変化に対する面の角度変化量として湾曲度を算出し、湾曲度に対応する照射角度の最適角度データに基づいて基本制御特性を補正することにより、被検査面の曲面に合わせて照射角度αおよび撮像角度βを適切に制御し得るようにした。

Claim (excerpt)：

相対的に移動する被検査体の被検査面に対して一方側斜め上方から被検査面の法線を基準とする所定の照射角度で照明光を照射する照明手段と、被検査面の他方側斜め上方において被検査面の法線を基準とする照明光の照射角度よりも小さい撮像角度に配置されて被検査面からの反射光に基づいて受光画像を形成する撮像手段と、撮像手段からの受光画像に基づいて被検査面上の表面欠陥を検出する画像処理手段と、照明手段と被検査面の相対的な位置を検出する位置検出手段と、被検査面の種類データを出力する被検査面種出力手段と、被検査面種出力手段からの種類データに対応する曲面形状データを選定する曲面形状選定手段と、位置検出手段からの位置データおよび曲面形状選定手段からの曲面形状データに基づいて被検査面に対する照射角度および撮像角度が所定の値になるように照明手段の角度および高さならびに撮像手段の角度および高さを制御する照明/撮像制御手段を備え、照明/撮像制御手段が、位置検出手段からの位置データおよび曲面形状選定手段からの曲面形状データに基づいて照明手段および撮像手段の基本的な制御特性を決定する基本制御特性決定手段と、位置検出手段からの位置データおよび曲面形状選定手段からの曲面形状データに基づいて被検査面の所定の位置変化に対する面の角度変化量として湾曲度を算出し、湾曲度に対応する照射角度の最適角度データに基づいて基本制御特性決定手段からの基本制御特性を補正する湾曲対応角度補正手段を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

FI (2)：

G01N 21/88 Z , G01B 11/30 A

F-Term (43)：

2F065AA12 , 2F065AA46 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC06 , 2F065CC11 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065EE07 , 2F065FF42 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065MM03 , 2F065PP15 , 2F065QQ05 , 2F065QQ13 , 2F065QQ34 , 2F065QQ42 , 2F065SS13 , 2G051AA37 , 2G051AA89 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051AC01 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G051BC05 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CD03 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051FA10

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