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J-GLOBAL ID:200903068117048070
故障検出方法及び検出装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
高田 守
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992064941
Publication number (International publication number):1993264676
Application date: Mar. 23, 1992
Publication date: Oct. 12, 1993
Summary:
【要約】【目的】 製造された半導体の製造上の欠陥である配線間のブリッジ故障を、検査対象に余分な検査用の回路を設けなくても検出することを目的とする。【構成】 半導体のレイアウトパターンからブリッジが起こり得る隣接配線を抽出するステップと、この隣接配線が論理値1と0の組み合わせになる入力論理値を求めるステップと、故障検出のために上記入力論理値を加えて、その時の消費電流値を正常時の消費電流値と比較するステップを備えた。
Claim (excerpt):
半導体のレイアウトパターンからブリッジが起こり得る隣接配線を抽出するステップと、上記隣接配線が論理値1と0の組み合わせになる入力論理値を求めるステップと、故障検出のために上記入力論理値を加え、その時の消費電流値を正常時の消費電流値と比較するステップを備えた故障検出方法。
IPC (3):
G01R 31/318
, G06F 11/22 310
, G06F 11/22 330
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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