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J-GLOBAL ID：200903068126128613

LEDヘッド検査装置

Inventor： 上村 勝也 ,  中島 則夫 ,  塚越 久 ,  手島 実
Applicant, Patent owner： 株式会社沖データ
Agent (1)： 川合 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995002604
Publication number (International publication number)：1996187891
Application date： Jan. 11, 1995
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】1回の走査で偶数ドットの光量分布及び奇数ドットの光量分布を同時に測定することができるようにする。【構成】LEDヘッド15と、第1光量センサ51と、第1光量センサ51と設定された距離を置いて配設された第2光量センサ52と、第1光量センサ51及び第2光量センサ52を結像線に沿って移動させる移動テーブル24と、制御装置とを有する。制御装置は、第1光量センサ51のスリットの位置に対応させて第1点灯領域を、第2光量センサ52のスリットの位置に対応させて第2点灯領域を設定し、第1点灯領域内の奇数ドットのLED10及び第2点灯領域内の偶数ドットのLED10を点灯させる。第1光量センサ51によって第1点灯領域内の奇数ドットの各LED10の光量を、第2光量センサ52によって第2点灯領域内の偶数ドットの各LED10の光量を順次検出することができる。

Claim (excerpt)：

(a)複数のLEDが配設されたLEDヘッドと、(b)前記LEDの結像線上にスリットを位置させて配設された第1光量センサと、(c)前記結像線上にスリットを位置させ、前記第1光量センサと設定された距離を置いて配設された第2光量センサと、(d)前記第1光量センサ及び第2光量センサを搭載し、前記結像線に沿って移動させられる移動テーブルと、(e)制御装置とを有するとともに、(f)該制御装置は、前記第1光量センサのスリットの位置に対応させて第1点灯領域を、前記第2光量センサのスリットの位置に対応させて第2点灯領域を設定し、第1点灯領域内の奇数ドットのLED及び第2点灯領域内の偶数ドットのLEDを点灯させることを特徴とするLEDヘッド検査装置。

IPC (5)：

B41J 2/44 ,  B41J 2/45 ,  B41J 2/455 ,  G01M 11/00 ,  H01L 33/00