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J-GLOBAL ID:200903068136084037

光重合性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992039653
Publication number (International publication number):1993241340
Application date: Feb. 26, 1992
Publication date: Sep. 21, 1993
Summary:
【要約】【目的】 剥離片が微細で、かつエッジフュージョンが発生しにくい、アルカリ水溶液で処理可能な光重合性組成物を提供する。【構成】 光重合性組成物が、(1)カルボキシル基含有バインダー、(2)光重合可能なモノマー、及び(3)光重合開始剤系を含有するアルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物であって、該カルボキシル基含有バインダーが、スチレン/(メタ)アクリル酸の共重合体(重量平均分子量1、000〜100、000)を、全バインダーの5〜50重量%含む。
Claim (excerpt):
(1)カルボキシル基含有バインダー、(2)光重合可能なモノマー、及び(3)光重合開始剤系を含有するアルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物であって、該カルボキシル基含有バインダーが、スチレン/(メタ)アクリル酸の共重合体(重量平均分子量1、000〜100、000)を、全バインダーの5〜50重量%含むことを特徴とする光重合性組成物。
IPC (7):
G03F 7/033 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開昭64-055551
  • 特開平2-191955
  • 特開平4-122937
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