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J-GLOBAL ID：200903068145195950

洗浄装置

Inventor： 白井 貢 ,  佐々木 秀昭
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991179186
Publication number (International publication number)：1993023649
Application date： Jul. 19, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 可燃性特性を持つ洗浄液で洗浄する場合においても、発火および着火のポテンシャルを小さくして爆発の防止が可能とされる洗浄装置を提供する。【構成】 可燃性有機溶剤の洗浄液を用いる洗浄装置であって、プリント基板1を洗浄するためのスプレー洗浄槽2と、プリント基板1をスプレー洗浄槽2に搬入するための搬入液体シール槽3と、プリント基板1をスプレー洗浄槽2から搬出するための搬出液体シール槽4とから構成され、プリント基板1の洗浄が、シール液16の噴流により大気と遮断され、かつ酸素濃度が所定値以下になるように不活性ガス9が導入されたスプレー洗浄槽2で行われる。そして、不活性ガス9の導入量は、酸素濃度計12、洗浄液5のガス濃度計13および温度計14によって制御されている。

Claim (excerpt)：

被洗浄物を洗浄するための洗浄室と、前記被洗浄物を該洗浄室に搬入または搬出するための搬入室および搬出室とを備えた洗浄装置であって、前記搬入室の搬入口および前記搬出室の搬出口の上部および下部のうち少なくとも一方に液体吐出口を設け、該液体吐出口よりシール液を吐出させると共に、該液体吐出口により囲まれた前記洗浄室の内部に不活性ガスを導入し、前記被洗浄物の洗浄を、前記シール液および不活性ガスによりシールされた前記洗浄室で行うことを特徴とする洗浄装置。

IPC (2)：

B08B 3/08 ,  H05K 3/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭59-184591
  
• 特公昭40-009724
  
• 特開平3-106485
  
• 特公昭63-048598