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J-GLOBAL ID：200903068170045784

基板の位置合わせ方法および装置

Inventor： 梶野 聖
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994297519
Publication number (International publication number)：1996152613
Application date： Nov. 30, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 一対の基板の相対位置を位置決めして接合させるにあたり、一対の基板の相対位置のずれの方向に一様な傾向があることに着目する。【構成】 一対の基板を保持した保持状態で、前回の補正動作での補正値を用いて、一対の基板の相対位置を予め補正した後、一対の基板の相対位置を測定してその相対位置のずれを補正する。一対の基板を接合させて加圧力を加えた接合加圧状態で、前回の補正動作での補正値を用いて、一対の基板の相対位置を予め補正した後、一対の基板の相対位置を測定してその相対位置のずれを補正する。【効果】 前回の補正値を用いて一対の基板の相対位置を予め補正するため、所定の位置決め精度が得られやすく、測定、補正動作の回数を減少でき、生産効率を向上できる。

Claim (excerpt)：

一対の基板をその少なくとも一方に施したシール材を介して接合させるにあたり、一対の基板をそれぞれ保持した保持状態において、以前に保持状態で補正動作が行なわれた際の補正値を用いて一対の基板の相対位置を予め補正した後、一対の基板の相対位置を測定してその相対位置のずれを補正し、一対の基板を接合させて加圧力を加えた接合加圧状態において、以前に接合加圧状態で補正動作が行なわれた際の補正値を用いて一対の基板の相対位置を予め補正した後、一対の基板の相対位置を測定してその相対位置のずれを補正することを特徴とする基板の位置合わせ方法。

IPC (2)：

G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101