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J-GLOBAL ID：200903068170058169

表示装置用アレイ基板及びその製造方法

Inventor： 町田 雅彦
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 蔦田 璋子 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998061107
Publication number (International publication number)：1999258625
Application date： Mar. 12, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 液晶表示装置等の平面表示装置に用いられる表示装置用アレイ基板及びその製造方法において、表示画面の高精細化に対しても高開口率を実現できるとともに、エッチング残渣による画素不良の発生を防止できるものを与える。【解決手段】 TFT方式の平面表示装置において、信号線(110)、ソース電極(126b)及びドレイン電極(126a)を三層積層金属膜(125)とし、この第1及び第3金属膜を厚さ5〜30nmのモリブデン金属膜により構成し、第2金属膜をアルミニウム(Al)金属膜またはアルミニウム-ネオジム(Al-Nd)合金(2モル%Nd)で厚さ300nmに構成する。

Claim (excerpt)：

基板上に配置される走査線と、この上に配置される第1絶縁膜と、この上に配置される半導体膜と、前記半導体膜に電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極とを含む薄膜トランジスタと、前記ドレイン電極から導出されて前記走査線と略直交する信号線と、前記ソース電極と電気的に接続される画素電極とを備えた表示装置用アレイ基板において、前記信号線、走査線、ドレイン電極及びソース電極は、前記半導体膜と略同一の輪郭形状であり、少なくとも前記信号線が、モリブデンを主体とする導電層、またはモリブデンを主体とする第1及び第3導電層と、アルミニウムを主体とし前記第1導電層と前記第3導電層との間に配置される第2導電層とを含む導電層とから構成されることを特徴とする表示装置用アレイ基板。