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J-GLOBAL ID：200903068189202902

圧電振動子及びその製造方法

Inventor： 荒武 潔 ,  富山 光男
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999023077
Publication number (International publication number)：2000223992
Application date： Jan. 29, 1999
Publication date： Aug. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 圧電振動子の振動特性を向上し、且つ効率よく振動させることのできる圧電振動子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 圧電振動片11の振動部の幅方向両端部近傍には、当該圧電振動片11の長手方向に亘って延びる細溝19を表裏両面にそれぞれ2本有し、励振電極膜16の何れかの極が細溝19の内面上に形成され且つ内面に対向する側面に励振電極膜16の他極を形成する。

Claim (excerpt)：

一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子において、前記圧電振動片の振動部の幅方向両端部近傍には、当該圧電振動片の長手方向に亘って延びる細溝を表裏両面にそれぞれ2本有し、前記励振電極膜の何れかの極が前記細溝の内面上に形成され且つ前記内面に対向する側面に前記励振電極膜の他極が形成されていることを特徴とする圧電振動子。

IPC (2)：

H03H 9/19 ,  H03H 3/02

FI (2)：

H03H 9/19 A ,  H03H 3/02 B

F-Term (16)：

5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF02 ,  5J108GG03 ,  5J108GG13 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭56-065517
  
• 特開昭55-013553
  
• 特開昭56-065517
  
• 特開昭55-013553