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J-GLOBAL ID：200903068209025450
水晶振動子構造体
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001271133
Publication number (International publication number)：2003087078
Application date： Sep. 07, 2001
Publication date： Mar. 20, 2003
Summary：
【要約】【課題】 筐体を水晶で構成し筐体に貫通孔を開けて内外の導通をとる時、貫通孔内部のエッチング残滓によって金属膜が連続しない部分や薄い部分が生じ、そのため配線抵抗値にばらつきが多く、最悪の場合断線してしまう。【解決手段】 貫通孔の形状を多角形とし、多角形を構成する貫通孔の内側面のそれぞれが水晶のX軸と垂直になるようにした。Z軸方向に比してX軸方向のエッチング速度が遅いので、エッチングはほとんどZ軸方向に進み、エッチング残滓のない形状が得られ、配線抵抗値のばらつきを小さくし、断線を防ぐことができた。
Claim (excerpt)：
水晶振動子と該水晶振動子を内部に収納し気密封止するための筐体からなる水晶振動子構造体であって、該筐体は水晶からなり、該筐体の内部と外部とを結ぶ貫通孔を有し、該貫通孔の断面形状は略多角形であり、該多角形を構成する内側面のそれぞれが水晶の結晶軸のX軸に対して略垂直であることを特徴とする水晶振動子構造体。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (9)：
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108CC10
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108FF11
, 5J108FF13
, 5J108GG03
