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J-GLOBAL ID：200903068239646823
光学的手法による物質情報検出システム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
長谷川 洋子 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995093064
Publication number (International publication number)：1996261925
Application date： Mar. 27, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 1つのシステムで、簡易に、高い精度で、物質の屈折率、膜厚、表層部の電磁線吸収量を検出できる、物質情報検出システムを提供する。【構成】 本物質情報検出システムは、媒質層10がは少なくとも2層以上の誘電体膜4,5,6からなり、誘電体膜層の少なくとも1層以上が光導波路層を形成するものであり、誘電体膜層は透明、または少なくとも1層以上が電磁線吸収物質を含有して所定の消衰係数(複素屈折率の虚部)をもつものである、よう設定するとともに、光結合部材1と被検物質7によって定まる臨界角度以上の領域における所定の入射角度において、媒質層10と被検物質7との間で最適な光導波路モードがたつよう、媒質層10の屈折率、厚さおよび消衰係数を最適化しておき、最適化された媒質層を用いて、所定の入射角度近傍にて入射させた電磁線の反射率から、被検物質7の屈折率、膜厚、表層部の電磁線吸収量を高感度で検出する。
Claim (excerpt)：
光結合部材および媒質層を介して被検物質に電磁線を入射し、該被検物質からの反射光特性を該媒質層および該光結合部材を介して監視することにより該被検物質の情報を検出する光学的手法による物質情報検出システムにおいて、前記媒質層は少なくとも2層以上の誘電体膜層からなり、かつ該誘電体膜層の少なくとも1層以上が光導波路層を形成するものであり、該誘電体膜層は透明、または少なくとも1層以上が電磁線吸収物質を含有して所定の消衰係数(複素屈折率の虚部)をもつものである、よう設定するとともに、前記光結合部材と前記被検物質とによって定まる臨界角度以上の領域における所定の入射角度において、前記媒質層と前記被検物質との間で最適な光導波路モードがたつよう、該媒質層の屈折率、厚さおよび消衰係数を最適化しておき、この最適化された媒質層を用いて、前記所定の入射角度近傍にて入射させた電磁線の反射率から、被検物質の屈折率、膜厚、表層部の電磁線吸収量を高感度で検出することを特徴とする、光学的手法による物質情報検出システム。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/41 Z
, G01B 11/06 G
