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J-GLOBAL ID：200903068249913773

シリコンウェハ用ラップ液およびラップ剤

Inventor： 黒田 征司 ,  山下 誠
Applicant, Patent owner： 東京ファインケミカル株式会社
Agent (1)： 八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996178331
Publication number (International publication number)：1998022241
Application date： Jul. 08, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 アミン類と同等の優れた防錆力を有し、かつアミン類および亜硝酸イオンを含まないシリコンウェハ用ラップ液を提供する。【解決手段】 基剤である水に有機酸およびその塩よりなる群から選ばれてなる少なくとも1種が配合されてなることを特徴とするシリコンウェハ用ラップ液。

Claim (excerpt)：

基剤である水に、有機酸およびその塩よりなる群から選ばれてなる少なくとも1種が配合されてなることを特徴とするシリコンウェハ用ラップ液。

IPC (3)：

H01L 21/304 321 ,  B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550

FI (3)：

H01L 21/304 321 P ,  B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 Z