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J-GLOBAL ID：200903068256760575

マイクロアクチュエーター形成法

Inventor： 酒巻 真一 ,  高橋 由紀見 ,  山田 ▲頼▼信
Applicant, Patent owner： シチズン時計株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996256481
Publication number (International publication number)：1998100403
Application date： Sep. 27, 1996
Publication date： Apr. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 圧電式インクジェットヘッドにおいて、圧電素子の密度を上げること。【解決手段】 酸化物基板に段加工および膜付けを行う事により、電極膜が形成された凸部を形成し、その凸部上に凸版オフセット印刷により圧電材料を転写し、焼成する事によりセラミックとし、異方性導電膜およびFPCにより電気的に接続し分極処理を行う事により圧電素子の高密度実装を行う。圧電素子間のバラツキが少なく、凸部を有する部材の凸部のみに圧電素子を形成する事が可能であり、その結果、圧電素子の高密度実装が実現できる。

Claim (excerpt)：

電極膜が形成された酸化物基板上の電極膜の一部または全てに、凸版オフセット印刷法により圧電材料を転写し、焼成し、圧電部材上部に電極膜を形成する事で、所定の形状の圧電素子を形成する事を特徴とするマイクロアクチュエーター形成法

IPC (4)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (3)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C