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J-GLOBAL ID：200903068257206636
ウエハ搬送装置および搬送制御方式
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995321481
Publication number (International publication number)：1997162260
Application date： Dec. 11, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：
【要約】【課題】 後続の搬送台車の待ち時間の削減と、搬送ロット流量が増加したときに空搬送台車の減少により発生する搬送ロットの待ち時間を削減すること。【解決手段】 半導体基板を次工程へ搬送する場合に、制御装置9により搬送軌道上の個別台車の実車状態を監視する。実車率が低下したときには電磁石1の吸着力により個別台車を複数台互いに連結して1台の連結台車を作る。実車率が高くなったときには電磁石の吸着力を解放して連結台車を複数台の個別台車に分離させる。制御装置は連結台車及び個別台車をいずれも1台の台車としてその搬送を制御する。
Claim (excerpt)：
半導体基板を次工程へ搬送するウエハ搬送装置において、搬送軌道上の個別台車の実車状態を監視する監視手段と、実車率が低下したときには前記個別台車を複数台互いに連結して1台の連結台車を作る連結手段と、実車率が高くなったときには前記連結台車を複数台の個別台車に分離させる分離手段と、前記連結台車及び前記個別台車をいずれも1台の台車としてその搬送を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (5)：
H01L 21/68
, B23Q 7/04
, B61B 13/00
, B65G 49/07
, G05D 1/02
H01L 21/68 A
, B23Q 7/04 R
, B61B 13/00 V
, B65G 49/07 L
, G05D 1/02 A
